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型號(hào)：

HWN-L納米激光直寫系統(tǒng)

描述：HWN-L納米激光直寫系統(tǒng)是一款大面積、高精度、可套刻、超衍射極限加工的激光直寫系統(tǒng)，可用于晶圓尺寸的大面積微納加工，適用于各種微納結(jié)構(gòu)和器件制造、小批量微納器件生產(chǎn)等。該系列包括L50、L100等不同型號(hào)，具有功能強(qiáng)大、維護(hù)簡(jiǎn)單、加工分辨率高、支持多種刻寫模式、支持多種受體材料等特征。本系統(tǒng)在設(shè)計(jì)之初保留了充足的物理空間和硬件資源，以滿足后續(xù)功能升級(jí)換代的需求，使產(chǎn)品具有更長(zhǎng)的生命周期

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家

  • 更新時(shí)間

    2024-09-25

  • 訪問(wèn)量

    863
詳細(xì)介紹
品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域化工
激光波長(zhǎng)405nm特征尺寸100nm
激光功率120mW至300mW（可選）芯片尺寸6英寸
刻寫范圍50mm×50mm至100mm×100mm（可選）

HWN-L納米激光直寫系統(tǒng)擅長(zhǎng)wafer尺寸的研究開發(fā)和小批量生產(chǎn)

HWN-L納米激光直寫系統(tǒng)是一款大面積、高精度、可套刻、超衍射極限加工的激光直寫系統(tǒng)，可用于晶圓尺寸的大面積微納加工，適用于各種微納結(jié)構(gòu)和器件制造、小批量微納器件生產(chǎn)等。該系列包括L50、L100等不同型號(hào)，具有功能強(qiáng)大、維護(hù)簡(jiǎn)單、加工分辨率高、支持多種刻寫模式、支持多種受體材料等特征。另外，本系統(tǒng)在設(shè)計(jì)之初保留了充足的物理空間和硬件資源，以滿足后續(xù)功能升級(jí)換代的需求，使產(chǎn)品具有更長(zhǎng)的生命周期。

蘇州華維納納米科技有限公司于2011年注冊(cè)成立的高科技創(chuàng)新型公司，主要從事新型納米光刻技術(shù)和無(wú)掩模納米光刻機(jī)的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化工作。







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